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共性技术国产化
以市场垄断性强、应用领域广、成本占比高、研发成果可共享以及具有巨大经济效益的共性产品，联合产业链上下游企业、科研院所，聚焦65/40/28纳米及以下集成电路关键工艺技术，进行设备、材料及零部件共性技术开发和中试。
制造工艺
厂务
IT系统
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设备成果
目前已吸引了20余家企业进行合作研发，对多种设备和工艺进行了验证并投入了生产应用，取得了超预期的进展。
20+
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零部件成果
目前已经吸引了70余家公司进行合作研发，累计验证近千种，帮助国内零部件产业技术升级及逐步产业化，打破国外厂商的技术封锁及垄断，取得了超预期的进展。
70+
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材料成果
目前已吸引了30余家企业进行合作研发，对多种材料进行了验证并投入了生产应用，取得了超预期的进展，研磨液、特气、靶材、化学品等主要材料都已研发出国产替代材料。
30+
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磁悬浮冰机
为落实国家科技创新战略，践行创新中心技术验证使命，创新中心拟率先在业内引入磁悬浮冰机技术，开拓磁悬浮技术在集成电路半导体行业的应用前景。长期以来，美系品牌冰机在中国市场上占据绝对统治地位。江森自控约克、开利、麦克维尔、特灵、顿汉布什合计市场占比60%以上，而国产品牌格力、海尔、美的合计占比不足两成。创新中心在磁悬浮冰机项目中拟引入国产品牌，拓展国产化冰机在半导体集成电路行业的应用前景。创新中心将以此次项目为契机，规划1台国产品牌磁悬浮冰机，积累运行经验，促进技术改进，探索磁悬浮冰机替代传统冰机的可能性以及国产化品牌在半导体集成电路行业的应用可能。
项目成果：为落实国家科技创新战略，践行创新中心技术验证使命，创新中心拟率先在业内引入磁悬浮冰机技术，开拓磁悬浮技术在集成电路半导体行业的应用前景。
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纯水系统
在以往的半导体行业纯水系统建设中，有一些关键的设备、材料往往使用的是国外特定品牌，长期以往造成了对特定品牌的过度依赖，以及造成了对于国产品牌不利的成长环境。因此为了落实国家科技创新战略，践行创新中心技术验证使命，创新中心将建设纯水系统国产化验证线。开拓未来纯水系统国产化设备、材料在半导体行业内的应用。我们将在纯水系统国产化验证的路上持探索、不断验证，持续创新。
项目成果：在以往的半导体行业纯水系统建设中，有一些关键的设备、材料往往使用的是国外特定品牌，长期以往造成了对特定品牌的过度依赖，以及造成了对于国产品牌不利的成长环境。
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国产大宗气站
目前国内12寸FAB厂基本均由三大外资气体公司提供大宗气站，大宗气体的供应安全性饱受国际政治局势牵制，如果一旦发生大宗气体禁止供应等问题，FAB厂会立即面临停产风险。为确保大宗气体供应的安全性，需要建立国产大宗气站。
项目成果：目前国内12寸FAB厂基本均由三大外资气体公司提供大宗气站，大宗气体的供应安全性饱受国际政治局势牵制
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