成熟制程集成电路设备、材料验证开发平台
联合产业链上下游企业，聚焦成熟制程集成电路工艺技术，进行设备、材料等芯片制造技术测试及开发。
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设备
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材料
“工欲立其事，必先利其器”，工艺设备是芯片制造的核心技术基础
开展成熟制程集成电路工艺专用设备的验证，建全集成电路设备品质管控体系，有效提升设备企业核心竞争力，成体系地对集成电路制造设备进行技术验证。致力于推动成熟制程工艺设备技术开发，以及规模化应用，涉及工艺包括干法刻蚀、掩膜、清洗等。
联合芯片设计端、工艺装备端等企业开展产业链协同创新发展。
材料是集成电路工艺制造的基础
聚焦成熟制程集成电路制造供应链发展形势，验证集成电路工艺制造用材料，与材料企业紧密合作，建设集成电路工艺生产应用数据库。通过集成电路材料验证平台，全方位、多维度、协同化地助力集成电路材料企业创新发展。